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원자력안전위원회(원안위)가 지난 5월 발생한 삼성전자 기흥사업장 방사선 피폭 사건 조사 결과를 26일 발표했다. 원안위는 방사선 발생 장비 정비에 대한 관리 감독자의 검토와 승인 절차 등이 없어 발생한 사건이라고 결론 냈다.원안위 조사 결과를 보면, 사건은 지난 5월27일 오후 3시30분쯤 발생했다. 삼성전자 기흥사업장 내 엑스선형광분석장치(XRF) 1기가 고장 나 작업자 2명이 정비를 진행했다. XRF는 엑스선을 통해 반도체 웨이퍼에 도포된 화학 물질의 두께를 측정하는 장비다.이 장비에는 엑스선의 외부 방출을 막는 셔터가 달려 있다. 셔터를 열면 엑스선 방출을 막는 안전장치(인터락)가 작동해야 한다. 그러나 사건이 발생한 장비는 셔터를 열어도 인터락이 작동하지 않도록 개조된 것으로 원안위는 확인했다. 이 때문에 셔터를 열어 작업하던 2명이 피폭됐다. 원안위는 셔터와 인터락 간 틈이 생겨 셔터를 닫아도 엑스선이 방출되지 않자, 인터락이 작동하지 않도록 배선을 변경했기 ...
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